Microsonda WDS (EPMA, Electron Probe Micro Analyzer)
Técnica que permite análisis puntuales en superficies perfectamente pulidas hasta de una micra de diámetro. Se dispone de 5 espectrómetros de dispersión de longitud de onda (5 canales) en donde están alojados los siguientes cristales:
- Canal 1: TAP y LDE2 y LDE1
- Canal 2: PETJ y LIF
- Canal 3: PETJ y LIF
- Canal 4: PETJH y LIFH
- Canal 5: TAPH y LDE3H
Permite cubrir un rango de elementos desde el berilio hasta el uranio, excluyendo gases nobles y tecnecio. La capacidad del software permite análisis de 27 elementos en un periodo de tiempo relativamente corto dependiendo de las condiciones de medida a utilizar en cada caso. Dispone de detectores de imágenes en modo de electrones secundarios, retrodispersados y topografía. El centro dispone de una amplia colección de patrones aceptados internacionalmente.
Prestaciones:
- Análisis cualitativo con estimación semi-cuantitativa
- Analisis cuantitativo con patrones desde Be a U
- Perfiles composicionales (gráfico y con interpretación semi-cuantitativa) con un pixelado desde 0.1 micras
- Zonados composicionales (gráfico y con interpretación semi-cuantitativa) con un pixelado desde 0.1 micras
Campos de aplicación:
Cualquier tipo de material susceptible de poder obtener una superficie especular para ser analizada.
Especificaciones técnicas:
- Elementos detectables Be a U
- Rango de los espectrómetros de 0.087 a 9.3 nm
- Velocidad máxima del stage 2 mm/s
- Voltaje de aceleración 0.2 a 40 kv
- Estabilidad de corriente + 2 x 10-3 hora
- Resolución en secundarios de 6 nm (WD 11 mm a 35 kv)
- Detector de retrodispersados (topografía y composición)
- Tamaño máximo de muestra 100x100 mm
- Área de análisis 80x90 mm
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