Microsonda WDS (EPMA, Electron Probe Micro Analyzer)

Técnica que permite análisis puntuales en superficies perfectamente pulidas hasta de una micra de diámetro. Se dispone de 5 espectrómetros de dispersión de longitud de onda (5 canales) en donde están alojados los siguientes cristales:

• Canal 1: TAP y LDE2 y LDE1
• Canal 2: PETJ y LIF
• Canal 3: PETJ y LIF
• Canal 4: PETJH y LIFH
• Canal 5: TAPH y LDE3H

Permite cubrir un rango de elementos desde el berilio  hasta el uranio, excluyendo gases nobles y tecnecio. La capacidad del software permite análisis de 27 elementos en un periodo de tiempo relativamente corto dependiendo de las condiciones de medida a utilizar en cada caso. Dispone de detectores de imágenes en modo de electrones secundarios, retrodispersados y topografía. El centro dispone de una amplia colección de patrones aceptados internacionalmente.

 Prestaciones:

• Análisis cualitativo con estimación semi-cuantitativa
• Analisis cuantitativo con patrones desde Be a U
• Perfiles composicionales (gráfico y con interpretación semi-cuantitativa) con un pixelado desde 0.1 micras
• Zonados composicionales (gráfico y con interpretación semi-cuantitativa) con un pixelado desde 0.1 micras

 Campos de aplicación:

Cualquier tipo de material susceptible de poder  obtener una superficie especular para ser analizada.

 Especificaciones técnicas:

• Elementos detectables Be a U
• Rango de los espectrómetros de 0.087 a 9.3 nm
• Velocidad máxima del stage 2 mm/s
• Voltaje de aceleración 0.2 a 40 kv
• Estabilidad de corriente + 2 x 10^-3 hora
• Resolución en secundarios de 6 nm (WD 11 mm a 35 kv)
• Detector de retrodispersados (topografía y composición)
• Tamaño máximo de muestra 100x100 mm
• Área de análisis 80x90 mm