Microscopio de barrido JEOL JSM 7600F, cañón de emisión de campo y sistema de análisis elemental eds y detector de electrones “in lens”.

Características Técnicas

Resolución

• Electrones secundarios (SEI):
• 1.0nm a 15 kV
• 1,5nm a 1 kV en modo GB
• 2,5nm a 1kV en modo SEM

Voltaje de aceleración:

• 0.1 a 30 kV
• 0,5 a 30 kV en modo SEM
• 10 V cada paso desde 0.5 a 2.9 kV
• 100 V cada paso desde 2.9 a 30 kV
• 0.1 a 4 en modo GB

Cañón de electrones

• Tipo: Schottky emisión de campo
• Emisor:  ZrO/W
• Alineamiento: Deflexión mecánica y electromagnética
• Platina totalmente eucéntrica control por ordenador y movimientos motorizados (X, Y, R, T, Z) con corrección de  backlash

Movimientos de muestras

• Eje X: 70 mm
• Eje Y: 50 mm
• Eje Z: 1,5 a 25 mm (continuo)
• Inclinación (T): –5º a +70º
• Rotación (R): 360º

Sistema de detección de electrones

• Detector “in lens” SEI/BEI: Upper. Colector, centellador, guía de luz y tubo fotomultiplicador
• Detector en cámara de muestras: Colector, centellador, guía de luz y tubo fotomultiplicador. SEI
• Detector BE de bajo ángulo  

Sistema de vacío

• Cámaras cañón/intermedia: Bombas iónicas de ultra alto vacío
• Cámara de muestras: Sistema automático de bomba turbomolecular
• Válvula aislamiento de la cámara de cañón
• Bombas de vacío:
  • Bombas iónicas (SIP)
  • Bomba turbomolecular
  • Bomba rotatoria
  • Tanque de reserva de vacío.