Este microscopio está especialmente indicado para la caracterización superficial de muestras tanto dentro del área de la ciencia de materiales como del área de la biología. El equipo ofrece la posibilidad de trabajar tanto en alto como en bajo vacío.

El equipo posee los siguientes accesorios:

• Energía Dispersiva de Rayos X (EDS): determinación semicuantitativa de la composición de las muestras. Detector DrySD^TM de 60 mm²con una resolución de 133 eV.
• Detector de electrones secundarios (SE) para el adecuado estudio de la morfología superficial de la muestra
• Detector de electrones retrodispersados (BSE) para el estudio de la distribución de áreas de diferente composición media superficial en la muestra, utilizando la correlación entre peso atómico medio y grado de grises observados en las imágenes. La topografía superficial también puede obtenerse utilizando este detector.
• Catodoluminiscencia (CL): el detector (CENTAURUS) permite hacer un estudio espectral de la luminiscencia correlacionado con el barrido de la superficie. Con esto se consigue completar la información morfológica contenida en las imágenes de barrido con la información acerca de la luminiscencia a resoluciones espaciales puntuales submicrométricas.
• Portamuestras de enfriamiento (coolstage): el equipo posee un portamuestra que ofrece la posibilidad de trabajar en un rango de temperaturas entre -25 °C y +160 °

Características técnicas:

• Cañón de electrones:
• Tipo: emisión de campo tipo Schottky
• Emisor: ZrO₂@W
• Voltaje de aceleración: de 0.5 a 30 kV:
• 5 a 3 kV: variable en intervalos de 100 V.
• 3 a 30 kV: variable en intervalos de 1 kV.
• Resolución:
• Electrones secundarios (SEI) en modo de alto vacío:
• 0 nm: con voltaje de aceleración de los electrones de 20 kV y distancia de trabajo (WD) de 5 mm.
• 0 nm: con voltaje de aceleración de los electrones de 1 kV y distancia de trabajo (WD) de 5 mm.
• Electrones secundarios (SEI) en modo de bajo vacío:
• 8 nm: con voltaje de aceleración de los electrones de 15 kV, distancia de trabajo (WD) de 5 mm y 10 Pa de presión en la cámara de muestras.

• Cámara de muestras de amplias dimensiones:
• Estudio de muestras voluminosas, con apertura y cierre de la cámara de manera fácil y rápida en cuanto a tiempo de espera de recuperación de vacío.
• Portamuestras de múltiples posiciones que permite montar varias muestras de forma simultánea (7 portamuestras en formato estándar de Ø 10 mm).