La microsonda electrónica, es fundamentalmente un microscopio electrónico de barrido especialmente diseñado para realizar análisis químicos cuantitativos de muestras sólidas a escala micrométrica, que permite cubrir un rango de elementos desde el berilio hasta el uranio, excluyendo gases nobles y tecnecio. Dispone de detectores de imágenes en modo de electrones secundarios, retrodispersados y topografía. El centro dispone de una amplia colección de patrones aceptados internacionalmente. Además, podemos llegar a detectar elementos tan ligeros como puede ser el Li, ya que el equipo está provista de un detector de emisión de RX blandos.
Prestaciones:
- Análisis cualitativo con estimación semi-cuantitativa
- Analisis cuantitativo con patrones desde Be a U
- Perfiles composicionales (gráfico y con interpretación semi-cuantitativa) con un pixelado desde 0.1 µm
- Zonados composicionales (gráfico y con interpretación semi-cuantitativa) con un pixelado desde 0.04 µm
Campos de aplicación:
Cualquier tipo de material susceptible de poder obtener una superficie especular para ser analizada.
Especificaciones técnicas:
- Canón de emisión de campo
- 4 espectrómetros de dispersión de longitudes de onda, WDS, provistos de los siguientes cristales:
- Canal 1: TAP, PET, LDE2 Y LDEB
- Canal 2: TAPL Y LDE1L
- Canal 3: PETL y LIFL
- Canal 4: PETL y LIFL
- Elementos detectables Be a U
- Espectrómetros:
- de dispersión de energía RX (Energy dispersive X-Ray Spectrometer, EDS)
- de emisión de RX blandos (Soft X-Ray Emission Spectrometer, SXES-LRDetecta)
- Rango de los espectrómetros:
- WDS: de 0.087 a 9.3 nm
- EDS 20 keV
- Detector de retrodispersados (topografía y composición)
- Resolución en secundarios de 2.5 nm (WD 11 mm a 30 kv)
- Voltaje de aceleración 1 a 30 kV
- Estabilidad de corriente ± 0.3%/h
- Tamaño máximo de muestra 100x100 mm
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