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La microsonda electrónica, es fundamentalmente un microscopio electrónico de barrido especialmente diseñado para realizar análisis químicos cuantitativos de muestras sólidas a escala micrométrica, que permite cubrir un rango de elementos desde el berilio hasta el uranio, excluyendo gases nobles y tecnecio. Dispone de detectores de imágenes en modo de electrones secundarios, retrodispersados y topografía. El centro dispone de una amplia colección de patrones aceptados internacionalmente. Además, podemos llegar a detectar elementos tan ligeros como puede ser el Li, ya que el equipo está provista de un detector de emisión de RX blandos.

Prestaciones:

  • Análisis cualitativo con estimación semi-cuantitativa
  • Analisis cuantitativo con patrones desde Be a U
  • Perfiles composicionales (gráfico y con interpretación semi-cuantitativa) con un pixelado desde 0.1 µm
  • Zonados composicionales (gráfico y con interpretación semi-cuantitativa) con un pixelado desde 0.04 µm

Campos de aplicación:

Cualquier tipo de material susceptible de poder obtener una superficie especular para ser analizada.

Especificaciones técnicas:

  • Canón de emisión de campo
  • 4 espectrómetros de dispersión de longitudes de onda, WDS, provistos de los siguientes cristales:
    • Canal 1: TAP, PET, LDE2 Y LDEB
    • Canal 2: TAPL Y LDE1L
    • Canal 3: PETL y LIFL
    • Canal 4: PETL y LIFL
  • Elementos detectables Be a U
  • Espectrómetros:
    • de dispersión de energía RX (Energy dispersive X-Ray Spectrometer, EDS)
    • de emisión de RX blandos (Soft X-Ray Emission Spectrometer, SXES-LRDetecta)
  • Rango de los espectrómetros:
    • WDS: de 0.087 a 9.3 nm
    • EDS 20 keV
  • Detector de retrodispersados (topografía y composición)
  • Resolución en secundarios de 2.5 nm (WD 11 mm a 30 kv)
  • Voltaje de aceleración 1 a 30 kV
  • Estabilidad de corriente ± 0.3%/h
  • Tamaño máximo de muestra 100x100 mm

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